|
ÈÈÃÅÎÄÕÂ
ÍÆ¼öÎÄÕÂ
×îÐÂÎÄÕÂ
|
вÄÁÏÓë±íÃæ¹¤³Ì¼¼ÊõÔÚ¹ö¶¯ÌåÖеÄÓ¦ÓÃ(4)
Ô×÷Õß:[±êÇ©:×÷Õß] Ìí¼Óʱ¼ä:2007-06-28 ÔÎÄ·¢±í:2007-06-28 ÈËÆø:2
±¾ÎÄÕ¹²5679×Ö£¬·Ö4Ò³£¬µ±Ç°µÚ4Ò³£¬¿ìËÙ·Ò³£º
|
3¡¢¼¤¹âÊø±íÃæ¸ÄÐÔ¼¼Êõ
¼¤¹âÊø±íÃæ¸ÄÐÔ¼¼ÊõÊÇÔÚ²ÄÁϱíÃæÊ©¼Ó¼«¸ßµÄÄÜÁ¿£¬Ê¹Ö®·¢ÉúÎïÀí»¯Ñ§±ä»¯£¬¿ÉÏÔÖøÌá¸ß²ÄÁϵÄÓ²¶È¡¢Ç¿¶È¡¢ÄÍÄ¥ÐÔ¡¢ÄÍÊ´ÐԺ͸ßÎÂÐÔÄܵȣ¬´Ó¶ø´ó´óÌá¸ß²úÆ·ÖÊÁ¿£¬³É±¶µØÑÓ³¤²úƷʹÓÃÊÙÃüºÍ½µµÍ³É±¾£¬È¡µÃ¾Þ´óµÄ¾¼ÃÐ§Òæ¡£
¢Ù¼¤¹âÊø±íÃæ¸ÄÐÔ¼¼ÊõµÄÓŵã
A¡¢¼ÓÈÈ´¦ÀíÉî¶ÈС£¬Ò×ÓÚ¿ØÖÆ£» B¡¢¼¤¹â¹â°ßµÄÄÜÁ¿Ãܶȴ󣬿É׼ȷµØÒýµ¼ÖÁ±íÃæµØ²»Í¬²¿Î»£» C¡¢´¦Àíºó±äÐÎС£» D¡¢Ò×ÓÚ´«Êä¡¢Çл»ºÍ×Ô¶¯¿ØÖÆ¡£ E¡¢ÎÞ»¯Ñ§ÎÛȾ£¬ÀûÓÚ±£»¤»·¾³¡£
¼¤¹â±íÃæ¸ÄÐÔ°üÀ¨Ïà±äÓ²»¯¡¢ÈÛÄý¡¢Í¿·ó¡¢ºÏ½ð»¯¡¢·Ç¾§»¯ºÍ΢¾§»¯¡¢³å»÷Ç¿»¯µÈ¡£
¢Ú¼¤¹â±íÃæºÏ½ð»¯
¼¤¹â±íÃæºÏ½ð»¯ÊÇÔÚ¸ßÄÜÊø¼¤¹â×÷ÓÃÏ£¬½«Ò»ÖÖ»ò¶àÖֺϽðÔªËØÓë»ùÌå±íÃæ¿ìËÙÈÛÄý£¬´Ó¶øÊ¹¼ÛÁ®²ÄÁϱí²ã»ñµÃ¾ßÓÐÔ¤¶¨¸ßºÏ½ðÌØµØ¼¼Êõ¡£
¢ÛÌØµã£º
A¡¢ÆÕͨ½ðÊôÄÜ»ñµÃ¸ß¼¶ºÏ½ðµÄÐÔÄÜ£» B¡¢²ãÉîºÍ²ã¿í¿É¾«ÃÜ¿ØÖÆ£» C¡¢²ÄÁÏÀûÓÃÂʸߣ» D¡¢½áºÏÇ¿¶È¸ß£» E¡¢¶Ô»ùÌå½ðÊôÐÔÄÜÓ°ÏìÉÙ¡£
¢ÜÓ¦Óãº
ÓÃÓÚ¹ö¶¯ÌåµÄ±íÃæ¸ÄÐÔ£¬Èç̼¸ÖÇò¾¶É¸õºó£¬Óü¤¹âÊø±íÃæ¸ÄÐÔ£¬¿É»ñµÃ²»Ðâ¸ÖÇòµÄÐÔÄÜ¡£
4¡¢ÎïÀíÆøÏà³Á»ý(PVD)¼¼Êõ
ÎïÀíÆøÏà³Á»ý¼¼Êõ(PVD)ÊÇÀûÓÃÈÈÕô·¢¡¢Àë×Ó½¦Éä»ò»Ô¹â·ÅµçµÈÎïÀí¹ý³Ì£¬ÔÚ»ùÌå±íÃæ³Á»ýËùÐèÍ¿²ãµÄ¼¼Êõ¡£
ÎïÀíÆøÏà³Á»ý¿É¶ÆÖƽðÊô¡¢ºÏ½ð¡¢Ñõ»¯Îï¡¢µª»¯Î̼»¯ÎïµÈĤ²ã£»Ä¤²ã¸½×ÅÄÜÁ¦Ç¿£¬¹¤ÒÕζȵͣ¬Ò»°ãÎÞ»òºÜÉÙ±äÐΡ£
°üÀ¨Õæ¿ÕÕô¶Æ¡¢Àë×Ó½¦Éä¡¢Àë×ӶƵȡ£ ¢ÙÀë×Ó½¦É䶯Ĥ¼¼Êõ£º
Àë×Ó½¦É䶯Ĥ¼¼ÊõÊÇÔÚÕæ¿ÕÊÒÖУ¬ÀûÓúÉÄÜÁ£×Óºä»÷°Ð²Ä±íÃæ£¬Í¨¹ýÁ£×ӵ͝Á¿´«µÝ´ò³ö°Ð²ÄÖеÄÔ×Ó¼°ÆäËûÁ£×Ó£¬²¢Ê¹Æä³Á»ýÔÚ»ùÌåÉÏÐγɱ¡Ä¤µÄ¼¼Êõ¡£
Á£×Ó½¦É䶯Ĥ¿ÉʵÏÖ´óÃæ»ý¿ìËÙ³Á»ý£¬¶ÆÄ¤Ãܶȸߣ¬¸½×ÅÐԺá£
¢ÚÓ¦Óãº
½¦É䶯Ĥ²ÄÁϲ»ÊÜÏÞÖÆ£¬·²ÄÜÖÆ³É°ÐµÄ²ÄÁϾù¿ÉÒÔ½¦Éä³ÉĤ£¬¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚ»úе¡¢µç×Ó¡¢»¯Ñ§¡¢¹âѧ¡¢ËÜÁϵÈÐÐÒµ¡£
Àë×Ó½¦ÉäMoS2ÓÃÓÚÖá³Ð½â¾öÁËÖá³ÐµÄÈó»¬ÎÊÌ⣬ʵÏÖÁ˹ÌÌå×ÔÈ󻬡£
»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý¼¼ÊõÊÇÒ»ÖÖ»¯Ñ§ÆøÏàÉú³¤·¨£¬ÊǰѺ¬Óй¹³É±¡Ä¤ÔªËصÄÒ»ÖÖ»ò¼¸ÖÖ»¯ºÏÎï¡¢µ¥ÖÊÆøÌ幩¸ø»ùÌ壬½èÆøÏà×÷ÓûòÔÚ»ùÌå±íÃæÉϵĻ¯Ñ§·´Ó¦Éú³ÉÒªÇóµÄ±¡Ä¤¡£
¿É¶ÆÄ¤²ã£ºTiC¡¢TiN¡¢Ti(CN)¡¢Al2O3¡¢ZrO2¡¢TiO2½ð¸Õʯ»òÀà½ð¸ÕʯµÈ¡£
ÀûÓÃCVD¼¼Êõ¿ÉʵÏÖ¸ÖÇò»ò¹ö×ÓµÄÌÕ´É»¯£¬ÔÚ½ðÊôÇò»ò¹ö×Ó±íÃæÐγÉÌմɲ㣬Ìá¸ß¹ö¶¯ÌåµÄÄÍÄ¥ÐÔ¡¢ÄÍÎÂÐÔ¡¢Èó»¬ÐÔ¡¢ÄÍÊ´ÐÔµÈÐÔÄÜ¡£Èç·É»ú²ÕÃÅÖá³ÐÇò¡£ ( |
|
|
 ±¾ÎÄÕÂËùÊô·ÖÀࣺ Ê×Ò³
¡ú »úÐÞ¼¼Êõ֪ʶ
|
ÎÄÕÂËÑË÷
|