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集成电路照排平台高精度定位传感器
原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-07-01 原文发表时间:2007-07-02 人气:1


在关键的Z轴高度调整中，支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面（次原子级）。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置（如图）并输出模拟信号（或可选的数字接口）。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。
主要指标：
测量对象：铝
量程起点：0.25mm
量程：25
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