全新齿轮高精度标定理念 -(2)

原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-07-02 原文发表时间:2007-07-03 人气:1

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跟踪激光干涉仪
TI的距离测量不确定度是系统在光束方线上不确定度的主要因素。跟踪仪回转点的稳定性特别重要。由于商用激光跟踪仪的距离测量不确度达不到亚微米级，PTB开发了一种新的高精密跟踪干涉仪。在该设计中，安装在万向接头上的干涉仪基于一个固定的参照（基准）球面运动，该球面仅作为干涉仪的一面基准（参照）镜面起作用。由于采用了这个工作原理，回转机构轴系的径向或侧向偏差都不影响测量的精度。
TI长度测量的精确度主要取决于基准球面的质量和它在空间位置的重复精度。为将其影响减至最小，基准球面的形状误差要少于30nm。它安装在一个殷钢柱上，以避免由于热膨胀引起任何位移，环境条件诸如温度、大气压和相对湿度等都进行监控，以修正激光信号。由于TI直径仅为200mm、高度250mm、重量7kg，故可直接放置于CMM工作台面上。
基准（参照）软件
新的评价（计值）软件能按照通常齿轮评估标准和指导文件的定义对修形的产品型齿轮样板几何参数的测量结果计值。此外，该软件还能用来比较PTB基准软件得到的数值和工业界计算得到数值间的差异，以便工业界来确认它的产品精度。
为了验证新方法对齿轮渐开线齿廓样板的测量效果，进行了比较测量。国家基准齿廓样板具有高等级表面质量和非常小的不确定度的测量值，这对评价新的测量方法提供了极好的条件。测量按照齿轮展成原理进行。
从测量结果可以看出，样板的标定值和新装置测量结果的一致性很好。通过与通用CMM的测量结果进行比较，证明新方法大大改善了测量不确定度。新测量装置的测量不确定度满足了提高的质量要求，如今它已用于标定产品型齿轮样板。
（摘自《工具展望》谢华锟译）

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