由无源的预调节和有源的测量及位置校正组成的新的混合方案首次构成了采用切削加工工艺方法进行超精密表面加工的完全自动化方案的基础。该方案的优点在于，在和机器整合的超精密金刚石切削刀具特性测定和更换系统的基础上，在工艺过程中通过在亚微米范围内对磨损标记宽度的测定实现了对切削刃状况的监控，并在必要时以200nm或更高的精度对刀具进行更换补偿。通过清洁技术和改善试验中固定的空气轴承主轴的方法，这些数值还可以降低。
Frauenhof 生产技术研究所（IPT）的机床系统可提供工业界和科研界用于制造具有光学表面质量的复杂的大面积的成形模具。该项研究工作是在宏大项目（Projekt Gross-Mikro, 标记13525 N ）的框架内进行的，通过德国工业研究联合会（AiF）得到了德国联邦经济和技术部（BMWi）的资金赞助，并且得到了欧洲Excellence 4M网络的支持。
MM《现代制造》杂志 ( |
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