光干涉图三维结构显微镜将在日本上市

原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-06-28 原文发表:2007-06-28 人气:1

经营图像设备的瑞士Lyncee Tec SA公司将在日本推出可利用光干涉图得到试料三维结构的显微镜“DHM（Digital Holographic Microscopy）1000 Family”。在日前举办的“nano tech 2006国际纳米科技综合展暨技术会议”上展出了该产品。所设想的用途是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线上用于缺陷检测。
其特点是与上述用途中现在使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15视野/秒的速度进行测量。因此，1cm见方的试料几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。
此次的产品最大可将观察速度扩展至1万视野/秒。由于摄影速度快，因此不需除震台，可用来检测流水线上的产品。日本的销售代理商是日本Omnisens公司。售价预计在2000万日元左右。
DHM 1000 Family将波长630nm的半导体激光分成照射到试料的光和参照光两部分来使用。共包括两大品种，一种是试料反射光与参照光进行干涉的“R1000 series”，另一种是试料透过光与参照光进行干涉的“T1000 series”。照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。

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