作为检测冲压件、铸件等小型、薄型加工零件的高精度测量仪器，在传感器中导入使用CCD相机的CNC图像测量机有了快速发展。
目前，分辨率小于lμm的超高精度图像测量机、装备CCD相机和分辨率达0.0lμm的激光测高仪、用于强化测量高度的混合型测量机等也已经开发出来。

在精密测量技术方面，重要的是对更高精度且形状复杂的工件进行高效测量。测量的不确定度不仅是用于评估检测结果，更重要的是用于从总体上考虑检测成本，以构筑高效率的检测系统。不仅要提供以高精度为基础的标准，而且还要研究能够更精确地模拟评估复杂测量不确定度的技术并使其实用化，这将是今后精密测量领域的重要课题。

在数控加工中需要确定刀具、夹具的干涉等。虽然CAM等加工软件也可以选配仿真模拟校验功能，但加工中的事故或故障通常是操作不注意时引起的，因此最好还是使用其它系统事先进行检查验证。大隈的0SP系列CNC装置采用了防撞击系统，无论是程序控制的机械操作还是手动操作，CNC装置都能自动检查工件、刀具、夹具等的干涉，在发生冲撞前自动停机。除了品种和批量多变的生产以外，在许多需要进行试加工等改变程序的生产现场，防错工具的重要性正在日益增长。