 图5 微位移传感器在工作时的数据输出 4 实验结果
经过反复试验,结合实际的要求,最终把微位移传感器的数据输出率定位在10 Hz,分辨率高达15位,具有很高的稳定性,取得了良好效果。相关参数选择如下:MSC1210的滤波器型号为sinc3,ACLK为1,ADCON2和ADCON3寄存器中的抽样值设为1080,将模拟输入缓冲关闭,模拟输入通道改变后抛弃3个数据输出周期,采用偏移和增益内部自校正。图5就是微位移传感器在工作时的数据输出的图形显示,两条曲线分别表示其在X轴和Y轴上的受力情况。根据力信息可以方便地计算出位移信息。
此次在中科院合肥智能所机器人传感器实验室多维力传感器技术的基础上,利用MSC1210的优势研制成功的微位移传感器,具有体积小、分辨率高、稳定性能好等优点。MSC1210单片机是完整的SoC系统,是功能强大的数据采集芯片,可以广泛应用于仪器仪表、测控和导航等领域。
参考文献 1 熊幸果, 陆德仁. 微力微位移的天平测试方法. 传感技术学报, 1997(6) 2 洪跃, 金士良. 新型微位移电容式传感器的研制. 上海大学学报, 1995(12)16 10 3 Sawada R, Higurashi E. Integrated microdisplacement sensor that can be incorporated into mini 3dimensional actuator stage. Broadband Optical Networks and Technologies: An Emerging Reality/Optical MEMS/Smart Pixels/Organic Optics and Optoelectronics. 1998 IEEE/LEOS Summer Topical Meetings 4 吴仲城. 多维力传感器设计及信号分析方法研究: [博士论文]. 北京:中国科学院等离子体物理研究所,2001 5 Texas Instruments. MSC1210 Users Guide. 200212 6 胡永建, 王晓梅. 基于MSC1210的多路高精度温度采集系统模块. 电子技术应用, 2003(7) 7 Texas Intruments. MSC1210 DataSheet. 200203沈春山:硕士研究生,主要研究方向为机器人传感器。葛运建:研究员、博导,主要研究方向为机器人和机器人传感器、虚拟现实技术,信息获取和处理,数据库及知识发掘和应用。 ( |