图2

半导体设备及光电产业设备常用的功能

1. load/unload system

上下料装置是最常见的半导体设备功能，使用来取代人工上下加工件的动作，通常需要一个单轴运动指令来实现，若机台中有多处使用上下料功能，也可以同时呼叫单轴运动指令或是一个全轴同动指令来实现，设计者可以根据所要的位置及速度下命令，并等待到位讯号即可. 这部分要求的是稳定以及简便。

2. Pick