 由于系统的有效抽速比小孔流导大很多,故使得小孔下游的压力户。远小于校准室压力p,这样小孔下游压力测量值误差对校准压力的影响很小。因此,只要根据校准气体流量qG、小孔流导C和小孔下游压力pb,就可以计算出校准室压力来。 校准气体的流量qG由流量计测量。流量范围为10-7~10-3Pam3s-1,其测量精度可达士0.5%,压力校准范围是10-5~10-1Pa。 由于很难测定微小的流量,也就直接限制了校准压力下限。采用分流的办法,能扩展压力校准下限,这就是二级动态流导校准法。 4.标准压缩式真空计 标准压缩式真空计不论是在结构上还是测量方法上和第二章所述的工作压缩式真空计都有所不同,它是用比对法校准其它标准真空计量器具,在5×10-3~103Pa压力范围内,是一可靠的压力标准,因此,各国普遍将它确定为国家真空计量的基准器具。
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