快速而精确的激光测量技术 -(3)

原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-07-02 原文发表时间:2007-07-03 人气:1

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Lasercheck测量仪所产生的数据可以表明如像磨削工序中所出现的变化。此数据反映砂轮加载时砂轮中的变化，并反映磨削过程中砂轮修整的影响。可超时监控和记录过程中的趋势。

激光三角测量仍然是CyberOptics Corp.制造仪器的基本原理。

CyberOptics的Bruce Batten解释说：“我们将激光光束聚焦到表面上然后光束反射回传感器。我们在检测器上收集数据。如果激光射到表面的点在Z方向发生变化，则反射光射到检测器的部位也会发生变化。使用三角测量法，我们可以精确确定两个点之间的高度差。”

该公司的Cyberscan Cobra3维轮廓仪可以收集在高度、长度、面积、体积、平均高度和表面粗糙度的3维数据。CyberOptics公司的激光传感器在50mm×50mm的是大测量面积中的分辨力精确至0.125μm。Cobra的传感器被固定在Y轴移动臂上。由一个3维半敞开平台将Cobra定位在目标物上方，而测量台提供X轴运动。

另一个产品，即Vantage检测系统，可以对152mm×152mm的面积进行3维扫描。它可以产生一个地形高度图，分辨力精确至0.125μm。测量范围为8000μm。其自动的X—Y工作台，由系统的计算机控制，给操作者一个为他们想测量的样吕的编程面积的机会。该公司制作的3个或4个传感器可以与Vantage或Cobra3维系统一起使用。

激光测量系统必须克服的一大障碍是光斑尺寸。Batten说：“激光光束的光斑尺寸在很大程度上决定着分辨力的大小。我们要生成很小的微细光斑，因为可以成像和测量很小的特征。如果可能的话，这需要一些透镜的优良品质的光学件，可将减小光斑尺寸至超出衍射极限的范围。”
他发现随着时间的流逝，激光系统变得越来越有价格竞争力。“激光技术的研究是一个热门领域。

像我们一样，人们从通讯系统方面的进步中受益匪浅。我们现在采用工作在600mm-700mm范围内的激光器。我们喜欢采用范围低至300mm-400mm的激光器。”

Renishaw Inc.是接触式测量系统的优秀制造厂，它生产用于手动或直接数控的坐标测量机的激光检测系统。由Wolf

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