3 涡旋真空泵的使用

3.1 涡旋真空泵与真空室的隔绝

正常操作条件下，顶部密封经过一段时间将会磨损并产生少量的微粒，而且用户在工作过程也可能产生过量的微粒，集结在泵中。这样如果出现断电或者泵电源鼓掌导致泵停止运行、或者泵没有被正常操作时，泵内的微粒就可能被抽回到真空系统中去。在这种情况下，泵应当在断电时立即关闭，或者在真空室与泵借口附近给泵通风，使得微粒排出排气口，当电恢复后或者直到泵内没有微粒时再打开。为了避免泵自身产生的或外来的微粒返回到真空系统中去，可以通过几种方法实现这一功能：既可以是阀门。也可以是时间延迟程序控制器，这一措施必须作为涡旋真空泵的设计与工作标准来执行。实际上油封真空泵都有一个模拟防反油阀，用来防止断电时油的返流。这一技术现在在真空获得设备上是作为通用技术来应用的。

3.2 自动气镇

如果进入涡旋真空泵入口的水蒸汽量太大，水蒸汽被压缩时将发生相变，转化成液体。这样泵内积存的水会迅速污染和腐蚀泵体内部，特别是轴承。最后导致泵内积存的水使泵打不到极限真空度指标。

这个问题的解决采用气镇技术，在压缩的最后阶段充入少量的干燥空气，防止蒸汽变成液体。采用气镇技术可以稀释被抽气体中的水含量并同时将水清除出泵。现在这项技术已经成为涡旋真空泵的通用技术。

4 总结

经过一个世纪的研发，涡旋技术已经成功地发展成为清洁无油真空抽气的有效手段。目前在我国，清洁无油真空获得设备的生产、研制处于发展阶段，笔者愿与同行共享通过涡旋真空泵的研究、开发与生产，在涡旋真空泵的设计、制造、试验、分析与择优方面获得的经验。

参考文献：

[1]杨乃恒.真空获得设备(第二版)[M].北京,冶金工业出版社,2001.

[2] 杨乃恒.干式真空泵的原理、特征及其应用[J].真空,200,(3):1.

[3]中华人民共和国国家标准[S].GB/T 3163-93 真空技术术语.

[4]Creux L,美国专利[P].No.801.182(1905)