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原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-06-28 原文发表:2007-06-28 人气:1


1 引言

金刚石性能的奇特组合使金刚石成为一种精密和高生产率工业应用的良好材料。自从20世纪50年代引入的高温高压(HTHP)生产单晶合成金刚石,到20世纪70年代开发的金属烧结聚晶金刚石(PCD),人工合成金刚石材料已经成为自然单晶金刚石的唯一替代物。近来,随着化学气相沉积(CVD)工艺开发的纯聚晶金刚石材料的出现,它在曾经认为是不可能达到的水准上提高了刀具性能,具有广阔的前景。

从耐磨镀层到用于高科技镜片和电子元件的纯净、独立的材料,CVD金刚石的工业应用给人留下了深刻印象。机械制造业对CVD金刚石的主要兴趣是CVD金刚石材料在高性能切削刀具和修整刀具的实际应用。

与HTHP金刚石和金属烧结PCD不同,CVD金刚石的制造不需要模拟地球深处自然的高压。相反,CVD金刚石是用氢气和碳氢混合气体被激发到一个“活化的”通常自然界不存在的发光状态。正是这个活化的化学原理,使纯的CVD聚晶金刚石在800~1000℃的范围内沉积。

2 CVD金刚石

CVD技术在市场上被公认的应用是钨硬质合金切削刀具的“薄膜”CVD金刚石镀层。无论是切屑的断屑槽刀片还是完全镀层的螺旋端铣,金刚石镀层刀具已经商业化了。

然而,现在又有一种“厚膜”CVD金刚石工艺,可用于制成纯的、非粘结剂的金刚石整体形式。这种形式的典型厚度范围为150~1000
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