名 称: FB-1500涡轮分子泵
发明单位: 中国科学院北京科学仪器研制中心
摘 要: 成果摘要:
FB-1500涡轮分子泵,是为获得清洁的大容积超高真空环境开发开发的,它的研制成功为科仪中心的涡轮分子泵产品形成系列,为更大容积真空系统获得清洁超高真空环境提供手段. 主要创新点:1.改变了过去分子泵靠仿制设计的开法途径,在理论设计以统计学为基础,建立了计算机软件程序,把复杂的组合叶片设计参数进行优化计算,选取最佳结构,以最少的级数,最合理的角度组合,获得最佳设计指标.2.要实现设计要求,叶片加工比须采用光学密封式的铣制方式,因此要解决加工过程中工艺的合理安排,特殊刀具的制备,以及合理安排热处理工序.3.解决大涡轮转子的精密动平衡. 该泵的主要技术指标:Plim<2X10(-8右上角标)Pa,Plim<2X10(-9右上角标),SN2>1500L/S,KH2>1X10(3右上角标)KN2>1X10(10右上角标),W=24000RPM. 在国内,南光机器厂也已开法出该型产品;在国际上,日本.西欧等几个主要真空厂家有此产品,技术性能指标大体相.同. 该泵已应用于高能物理.宇航技术.半导体器件物理.真空镀膜.不锈钢保温瓶制造等. 随着国内科学研究和工业发展,需要一定数量的大抽速涡轮分子泵.过去多为进口,花费大量外汇,我们研制成功以后,已后供给国内市场近50台,为国家节省了大量外汇,,为本单位带0效0. (摘自：中国化工设备网) |
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