在磁控溅射镀膜机中总存在火花放电而产生的弧光，因此在磁控电源中L、C的作用主要是灭弧，由于L、C电路的滤波作用，其输出波形中的谐波成分也可大大减小，当产生的弧光通过L、C回路无法熄灭时，可通过控制回路电流反馈尽快灭弧，当弧光面积过大时可通过电流截止反馈切断电源，以勉造成严重后果。此时也可快速重新起辉。谐波对电源侧的影响也可加入响应保护。