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原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-07-02 原文发表时间:2007-07-03 人气:1


PVD涂层技术在改进控制技术、提高等离子体密度、提高磁场强度、改进阴极靶的形状、实现过程的计算机全自动控制等关键技术上取得了全面进展,从而使涂层与基体的结合强度、涂层的性能有显著的提高,涂层的品种也从常规的TiN、TiCN、TiAIN迅速扩展到特殊TiAIN、AlTiN、TiAlCN、CrN、CBC(DLC)等涂层以及各种复合涂层和纳米涂层,并能对涂层的分组、百分比、结构在很大范围内加以控制和改变,以使用不同的被加工材料和不同切削条件,从而显著地提高了刀具的切削性能,使涂层技术对刀具材料的“改性”作用达到了新的水平,开拓了更大的空间,成为当前发展高速切削、硬切削、干切削中一项十分关键的技术。

  涂层设备为计算机全自动控制和模块化设计,设备柔性好,生产效率高,质量稳定,一台设备可以适应不同的批量、不同的刀具、刀片以及不同的涂层。例如PLATIT和PVT公司采用多弧工艺,多弧设备对电弧产生的“液滴”进行有效控制,使刀具涂层表面的光洁度得到很大改善,已用于CD光盘的压模涂层。PLAITT公司新开发的μAITiN涂层表面粗糙度仅为Ra0.02μm。

  PLAITT公司新开发的纳米涂层

  一是纳米梯度涂层,通过在纳米的数量级范围内改变涂层的成分,获得硬度(韧性)连续变化的梯度涂层;二是纳米的多层涂层,以AIN作为主层、TiN-cRN为中间层,两者相互交替形成多层结构(试验表明当层距为7nm时涂层的硬度达最高值,约45Gpa);三是纳米结构涂层,这是该公司最新一代л80的上层设备上获得的新涂层--AITiN/SiN,其结构为3nm的AITiN晶粒镶嵌在非晶态的Si3N4基体上,在晶粒之间为1nm后的Si3N4。该涂层的硬度达45Gpa,摩擦系数为0.45,最高使用温度可达1100℃。在该设备上开发的LARC工艺,还可以生成由上述结构组成的纳米多层涂层,可进一步提高涂层的韧性。

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