（5）激光孔与内层焊盘的对位精度（测量板边的激光孔与内层焊盘对位精度的标靶，单位为mil）；

　　3、实验数据分析：

　　从激光孔与内层焊盘对位精度标靶的测试结果看，用内层激光定位标靶的板孔精度较高（反映相对于内层焊盘的精度）。但由于与外层激光窗口的偏差，导致最终与内层相连的面积比现有的定位方法稍微偏小。激光孔与外层焊盘对位偏差情况此三种方法都差不多，焊锡面都不好，应该是焊锡面外层线路菲林对位不准而造成。

四结论

　　从以上三种定位方法的实验结果可以看出，用内层激光定位标靶定位进行激光钻孔可以提高激光钻孔的对位精度（第（2），（3）种方法；但第（3）种方法需要多钻两对标靶,影响生产效率，且激光孔对激光窗口的对准情况改善不大，故宜采用第（2）种方法），但是为了保证良好的连接面积，应该适当加大激光窗口。

板件编号	对位方法	层压后1-6层标靶变化	层压后1-2层标靶变化	层压后5-6层标靶变化	激光钻孔精度（1-2）	激光钻孔精度（5-6）	激光孔与内层焊盘连接情况（1-2）	激光孔与内层焊盘连接情况（5-6）	激光孔与外层焊盘连接情况（1-2）	激光孔与外层焊盘连接情况（5-6）	激光孔与激光窗口对位偏离（1-2）	激光孔与激光窗口对位偏离（5-6）
3	1-6层钻孔，外层激光定位	4.45	3.98	2.51	3.25	3.5	4.43	4.72	0.98	崩孔	3.19	3.15
10	1-6层钻孔，外层激光定位	6.14	3.78	3.78	3.5	4.5	4.18	4.13	0.3	0.3	3.4	2.56
14	1-6层钻孔，外层激光定位	5.24	2.56	3.46	5	6	3.69	2.56	0.39	1.37	3.35	2.95
16	1-6层钻孔，外层激光定位	4.69	4.09	3.39	3.5	3.5	4.43	4.04	0.69	崩孔	3.15	2.56
17	1-6层钻孔，外层激光定位	4.96	3.31	4.41	6.25	4	2.76	4.72	0.39	0.98	3.3	2.6
1	1-6层钻孔，内层激光定位	6.61	5.35	3.94	2	3	4.38	4.53	0.39	崩孔	3.49	4.28
8	1-6层钻孔，内层激光定位	5.67	3.62	3.11	3	3	3.54	4.72	1.67	0.2	5.21	4.23
13	1-6层钻孔，内层激光定位	6.81	3.27	3.11	3.25	4	3.34	4.63	1.38	崩孔	5.11	4.23
15	1-6层钻孔，内层激光定位	5.51	3.78	1.97	3.5	4.25	4.33	4.72	0.3	0.44	5.01	3.05
18	1-6层钻孔，内层激光定位	4.69	3.07	4.64	2.25	2.5	2.31	3.99	1.32	崩孔	6.79	5.81
4	1-2及5-6层钻孔，内层激光定位	6.97	5.87	4.49	1.75	1.5	3.94	3.79	1.08	0.39	3.84	5.01
7	1-2及5-6层钻孔，内层激光定位	4.61	2.76	3.7	2.5	3.75	4.04	4.72	1.67	崩孔	4.97	3.99
11	1-2及5-6层钻孔，内层激光定位	5.83	5.24	4.02	1.25	1	4.62	3.84	0.49	崩孔	3.74	5.22
19	1-2及5-6层钻孔，内层激光定位	4.37	3.11	2.99	3.25	2.75	3.44	2.76	崩孔	0.2	5.22	6.59
20	1-2及5-6层钻孔，内层激光定位	6.18	6.14	4.17	2.5	1	3.35	3.64	0.3	0.79	5.41	5.61