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现代分析技术在薄膜材料研究中的应用 -(2)

原作者:[标签:作者] 添加时间:2007-07-01 原文发表时间:2007-07-02 人气:1

本文章共1748字，分2页，当前第2页，快速翻页：

离子探针显微分析是利用离子源产生的一次离子加速形成能量为1～10KeV的离子束，然后将其打向样品表面产生的正、负二次离子引入质谱仪，经放大后记录下荷质比（m／e）及其强度并根据荷质比和强度进行元素的定性和定量分析。
使用离子探针显微分析可进行如下分析：①同位素分析；②轻元素高灵敏度分析；③极薄表面（约10～1000

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